microfabrication相关论文
综述了飞秒激光进行材料加工的多种机理和理论;主要介绍了飞秒激光对玻璃、石英、金属、聚合物等各种材料加工的最新研究进展状况......
A ring-shaped focus, such as a focused vortex beam, has played an important role in microfabrication and optical tweezer......
Both biological and engineering approaches have contributed significantly to the recent advance in the field of mechanob......
Nanotechnology allows the realization of new materials and devices with basic structural unit in the range of1–100 nm a......
Computational Fluid Dynamic Simulation of Liquid-Liquid Mixing in a Static Double-T-shaped Micromixe
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
With surface- and bulk-micromachining, an 8 × 8 mirrors array is designed, fabricated and tested,which is based on elec......
Microfabrication and Performance of Annealed NiTi Shape Memory Thin Films by Sputtering for Microdev
The microfabrication and performance NiTi shape memory thin films for microdevice applications were studied by microfabr......
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作......
We describe a novel technique, low surface energy Gas Expansion Molding (GEM), to fabricate microbubble arrays in polydi......
采用光固化模塑法代替传统的芯片加工方法,用液体光固化材料代替传统的热塑性高分子材料以及玻璃和硅等无机材料,研究了一种微流控......
介绍了准分子激光微加工的机理，设计并研制了步进控制的二维微动扫描台，建立了一种基于准分子激光的微加工装置，通过计算机控制扫描路......
软刻蚀制备组织工程3D可生物降解、生物相容性好的几何图案聚合物微结构,方法简单,使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为弹性铸膜.高分辨......
尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法。玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成......
对寄生蝇指向性听力的形成原理进行了说明。以寄生蝇相互耦合的两鼓膜为原形,设计了一种仿生的声压梯度敏感结构。推导了平面简谐......
研究了单晶硅阳模的制作工艺.考察了光刻胶前烘和后烘的温度、刻蚀剂浓度、组成及刻蚀温度等因素对单晶硅阳模质量的影响.得出了单......
利用纳秒激光双光束干涉的光刻方法,在光刻胶层制备具有周期性的一维光栅结构样品,并研究其形状记忆特性.结果表明：显影后的样品在......
为提高传统有限状态机(FSM)分析微制造数控系统(NCS)实时性特征的能力,提出了一种实时有限状态机(RTFSM)模型.该模型对传统FSM概念......
以玻璃为实验靶材，用精密微动平台准确调节靶材位置，利用波长248nm的KrF准分子激光器，研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉......
在微加工中通过电化学沉积Zn制备牺牲层从而制备悬空结构。电化学沉积Zn牺牲层工艺具有易获取牺牲层，去除快速，腐蚀选择性好，耐高温等......
微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一.就选取材料的原则,模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较,提出了......
电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用。为了能够实现低成本电子束直写微加工，提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的......
采用电解抛光工艺，对超细钨灯丝进行微细加工，经选用合适的电解液配方和电解抛光工艺设备，连续生产出φ５￣φ３等规格的超细钨灯丝。......
微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的......
介绍一种集成电路版图复杂图案的处理和扫描技术，提出了一个大场中，分割成若干小场的扫描实用算法，完成各小场的定位及高速扫描硬件及......
通过溅射电镀种子层前预烘胶与严格控制烘胶温度变化速率、用KOH稀溶液去胶、再用稀腐蚀体系加以轻度超声干涉去除电镀种子层和使......
系统阐述了缩小投影(或纳米投影)电子束曝光技术的原理,以及如何将一台透射电镜改装为原理论证机的主要过程.内容包括机械结构的变......
探讨了微反应器制作技术的创新与优化,分析了微反应器的基本结构与常用材料,总结了它的三种主要加工技术,即硅体微加工、超精密加......
FIB是一种将微分析和微加工相结合的新技术，在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对......
基于光固化快速成型制造技术，结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术，研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板（光敏树脂......
为了提高激光微加工质量，对激光焦斑进行整形，采用菲涅尔衍射公式进行了理论分析，基于遗传算法和设计约束条件通过Matlab设计了两种二......
用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃（FOTURAN）内部，通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面，并结合热处理和在......
从化学工程学的多尺度化、化工过程的绿色化、化工生产的逐步微型化和过程参数的极限化等4个方面介绍了21世纪化学工程发展的趋势......
